[实用新型]石墨坩埚有效
申请号: | 201220200243.6 | 申请日: | 2012-05-07 |
公开(公告)号: | CN202630677U | 公开(公告)日: | 2012-12-26 |
发明(设计)人: | 林秀钦 | 申请(专利权)人: | 广州金凯新材料有限公司 |
主分类号: | F27B14/10 | 分类号: | F27B14/10 |
代理公司: | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人: | 曾旻辉 |
地址: | 510520 广东省广州市广州高新技术产*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种石墨坩埚,其包括有石墨基体,所述石墨基体的内壁及外壁设有CVD抗氧化涂料层。所述石墨基体的外壁设有透气布,所述透气布位于所述CVD抗氧化涂料层的外侧,所述透气布的外侧覆盖有高温粘合剂。本实用新型通过在所述石墨基体的内、外壁通过CVD工艺形成CVD抗氧化涂料层,再在所述CVD抗氧化涂料层的外围采用透气布拴紧,并在所述透气布的外侧采用高温粘合剂覆盖,不仅增强了石墨坩埚的抗氧化性,且使其寿命更长。 | ||
搜索关键词: | 石墨 坩埚 | ||
【主权项】:
一种石墨坩埚,其特征在于,其包括有石墨基体,所述石墨基体的内壁及外壁设有CVD抗氧化涂料层。
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