[实用新型]一种真空钛离子泵有效
| 申请号： | 201220203365.0 | 申请日： | 2012-05-08 |
| 公开（公告）号： | CN202595267U | 公开（公告）日： | 2012-12-12 |
| 发明（设计）人： | 史海如;周红艳;温子阳 | 申请（专利权）人： | 湖北汉光科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56;C23C14/32 |
| 代理公司： | 武汉开元知识产权代理有限公司 42104 | 代理人： | 王和平 |
| 地址： | 432000 *** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种真空钛离子泵，由阳极组件、阴极板⑺、阴极外壳⑶、阳极引线⑴和芯柱保护筒⑽构成，阳极组件和阳极引线⑴的下端螺纹相连，阴极板⑺、阴极外壳⑶通过阴极接头⑵和芯柱保护筒⑽的下端焊接相连，阳极组件和阴极板⑺设于阴极外壳⑶内，阳极引线⑴设于芯柱保护筒⑽内，其特征在于：所述的阳极组件包括八边形的阳极外框⑹和两片呈90°的阳极骨架⑼，阳极外框⑹和阳极骨架⑼连接；其优点是：所设计的真空钛离子泵采用了芯柱保护筒和硅胶套，使安全性能得到了加强，采用八边形阳极外框和两个阳极骨架，使得结构稳定，同时，两个阳极骨架也增加了阳极有效作用面积，提高了钛离子泵的抽速，因此本实用新型适用于各种需要维持高真空的器件和系统。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 真空 离子 | ||
【主权项】：
一种真空钛离子泵，由阳极组件、阴极板⑺、阴极外壳⑶、阳极引线⑴和芯柱保护筒⑽构成，阳极组件和阳极引线⑴的下端螺纹相连，阴极板⑺、阴极外壳⑶通过阴极接头⑵和芯柱保护筒⑽的下端焊接相连，阳极组件和阴极板⑺设于阴极外壳⑶内，阳极引线⑴设于芯柱保护筒⑽内，其特征在于：所述的阳极组件包括八边形的阳极外框⑹和两片呈90°的阳极骨架⑼，阳极外框⑹和阳极骨架⑼连接。
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