[实用新型]一种混成式三维神经元探针阵列结构有效
| 申请号： | 201220207702.3 | 申请日： | 2012-05-09 |
| 公开（公告）号： | CN202657949U | 公开（公告）日： | 2013-01-09 |
| 发明（设计）人： | 程正喜;庄佚溦;张学敏;翟厚明;施永明;马斌 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海技术物理研究所 |
| 主分类号： | B81B1/00 | 分类号： | B81B1/00 |
| 代理公司： | 上海新天专利代理有限公司 31213 | 代理人： | 郭英 |
| 地址： | 200083 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本专利公开了一种混成式三维神经元探针阵列结构，它包括：信号读出电路衬底，与所述信号读出电路衬底倒焊互连的探针阵列；所述探针阵列的每个探针包括：针尖，针身，以及针底座；相邻探针之间的针底座之间相互分离；相邻所述探针的所述针底座之间的间距范围为25至75微米，针尖由两个相邻交接的斜面和两个相互垂直交接的垂直面围成，两个所述垂直面垂直于所述硅衬底，所述斜面与所述垂直面之间的夹角为V形沟槽的两个斜面的夹角的1/2。该混成式三维神经元探针阵列的制备成品率高，并且制备工艺相对简单，适合大规模制备。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 混成 三维 神经元 探针 阵列 结构 | ||
【主权项】：
一种混成式三维神经元探针阵列结构，它包括：信号读出电路衬底，与所述信号读出电路衬底倒焊互连的探针阵列；其特征在于：所述探针阵列的每个探针包括：针尖，针身，以及针底座；相邻探针之间的针底座之间相互分离；相邻所述探针的所述针底座之间的间距范围为25至75微米，针尖由两个相邻交接的斜面和两个相互垂直交接的垂直面围成，两个所述垂直面垂直于所述硅衬底，所述斜面与所述垂直面之间的夹角为V形沟槽的两个斜面的夹角的1/2。
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