[实用新型]一种磁控溅射旋转靶有效
| 申请号： | 201220208554.7 | 申请日： | 2012-05-10 |
| 公开（公告）号： | CN202595261U | 公开（公告）日： | 2012-12-12 |
| 发明（设计）人： | 宋光耀;李毅;刘志斌;翟宇宁 | 申请（专利权）人： | 深圳市创益科技发展有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 深圳市毅颖专利商标事务所 44233 | 代理人： | 张艺影;李奕晖 |
| 地址： | 518029 广东省深圳市福田区深南大道*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种磁控溅射旋转靶，属于磁控溅射镀膜技术领域，解决磁控溅射镀制薄膜电池膜层的厚度一致性等技术问题，磁控溅射旋转靶包括靶筒、靶轴、靶材和磁体，靶材装在靶筒的外壁上，磁体位于靶筒内部，其特征在于所述靶筒的两端设有连接构件，该连接构件由端头、靶轴支承座和连接夹套组成，端头由连接夹套安装在靶筒的两端，靶轴支承座安装在端头内，靶轴的一端装有磁体移动机构，另一端装有靶材旋转机构。积极效果是通过调节靶电源以及旋转靶上的磁铁和靶材之间距离，调整靶材表面的磁场，保证所镀膜层厚度的均匀性和致密度的一致性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 磁控溅射 旋转 | ||
【主权项】：
一种磁控溅射旋转靶，包括靶筒、靶轴、靶材和磁体，靶材装在靶筒的外壁上，磁体位于靶筒内部，其特征在于所述靶筒的两端设有连接构件，该连接构件由端头、靶轴支承座和连接夹套组成，端头由连接夹套安装在靶筒的两端，靶轴支承座安装在端头内，靶轴的一端装有磁体移动机构，另一端装有靶材旋转机构。
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