[实用新型]在线制备太阳能电池导电膜层的磁控溅射装置

摘要

本实用新型涉及一种在线制备太阳能电池导电膜层的磁控溅射装置，属于太阳能技术领域，解决连续镀膜中相邻阴极靶位之间电磁极性影响磁场分布等技术问题。本实用新型磁控溅射装置的阴极装置包括多个连续镀膜的磁控溅射阴极靶，每个阴极靶的磁体由外环和中间电磁体组成，且外环和中间电磁体的励磁线圈接直流电源正负极，调节阴极靶相邻靶位的磁体极性，在太阳能电池基板表面连续镀制导电膜层。本实用新型通过电磁体的极性设定，由单面镀到双面镀，提高了产能，降低了生产成本，不仅应用于在线生产硅基薄膜太阳能电池背电极膜层也适应前电极膜层。

主权项

一种在线制备太阳能电池导电膜层的磁控溅射装置，其阴极装置装在真空腔室内，其特征在于所述阴极装置包括多个连续镀膜的磁控溅射阴极靶，每个阴极靶的磁体由外环和中间电磁体组成，且外环和中间电磁体的励磁线圈接直流电源正负极，调节阴极靶相邻靶位的磁体极性，在太阳能电池基片表面连续镀制导电膜层。