[实用新型]半导体清洗设备中的机械手有效
| 申请号： | 201220219706.3 | 申请日： | 2012-05-16 |
| 公开（公告）号： | CN202638831U | 公开（公告）日： | 2013-01-02 |
| 发明（设计）人： | 金金明 | 申请（专利权）人： | 硅密（常州）电子设备有限公司 |
| 主分类号： | B08B13/00 | 分类号： | B08B13/00;B08B3/10 |
| 代理公司： | 常州市科谊专利代理事务所 32225 | 代理人： | 孙彬 |
| 地址： | 213031 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种半导体清洗设备中的机械手，它包括壳体、旋转轴、机械手固定板、安装在壳体上的摆动动力装置、使壳体做升降运动的升降动力装置和使壳体做上下振动的振动动力装置以及控制摆动动力装置、升降动力装置和振动动力装置的控制单元，旋转轴可旋转地支承在壳体上，旋转轴的下端安装有挂架，壳体通过导轨副可滑动地连接在机械手固定板上，升降动力装置安装在机械手固定板上，摆动动力装置通过传动装置驱动旋转轴旋转。本实用新型自动化程度高，能够降低劳动强度，减轻化学品对人体的伤害，提高生产效率，保证产品质量，满足批量化生产。 | ||
| 搜索关键词： | 半导体 清洗 设备 中的 机械手 | ||
【主权项】：
一种半导体清洗设备中的机械手，其特征在于：它包括壳体（1）、旋转轴（2）、机械手固定板（3）、安装在壳体（1）上的摆动动力装置、使壳体（1）做升降运动的升降动力装置和使壳体（1）做上下振动的振动动力装置以及控制摆动动力装置、升降动力装置和振动动力装置的控制单元，旋转轴（2）为表面包有一层PFA材料的热缩管，旋转轴（2）可旋转地支承在壳体（1）上，旋转轴（2）的下端安装有挂架（4），壳体（1）通过导轨副可滑动地连接在机械手固定板（3）上，升降动力装置安装在机械手固定板（3）上，摆动动力装置通过传动装置驱动旋转轴（2）旋转。
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