[实用新型]一种气相外延设备进行材料生长的控制系统有效
| 申请号： | 201220221883.5 | 申请日： | 2012-05-16 |
| 公开（公告）号： | CN202717874U | 公开（公告）日： | 2013-02-06 |
| 发明（设计）人： | 袁志鹏;刘鹏;赵红军;张茶根;张俊业;毕绿燕;张国义;童玉珍;孙永健 | 申请（专利权）人： | 东莞市中镓半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B25/16 | 分类号： | C30B25/16 |
| 代理公司： | 北京君尚知识产权代理事务所(普通合伙) 11200 | 代理人： | 余长江 |
| 地址： | 523500 *** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种气相外延设备进行材料生长的控制系统，属于半导体技术领域。本系统包括一工控机和一可编程控制器，所述工控机通过工业通信总线分别与气相外延设备的可编程控制器、气体流量计、和/或压力控制器、和/或加热器、和/或转动盘连接。设置多个温区加热器进行动态补偿衬底温度。在气动阀控制方面取消逐个控制，设置联动自动控制开关，根据各路源气的设定值，联动打开气动阀和设定MFC。在压力控制方面，增加限制蝶阀角度控制，控制范围在大于5°小于40°之间，达到压力平稳控制和保证气体一直往下流。在材料生长控制方面，除了能实现自动运行菜单外，创造实行跳步生长、无缝更新菜单和中途指定步生长。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 外延 设备 进行 材料 生长 控制系统 | ||
【主权项】：
一种气相外延设备进行材料生长的控制系统，其特征在于包括一工控机和一可编程控制器，所述工控机通过工业通信总线分别与气相外延设备的可编程控制器、气体流量计、和/或压力控制器、和/或加热器、和/或转动盘连接。
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