[实用新型]一种用于研磨抛光的晶圆粘片机

摘要

一种用于研磨抛光的晶圆粘片机，涉及一种用于晶圆研磨抛光的辅助设备。提供一种可在同一工作台上进行晶圆加热、粘装、测量、调节，可实现粘片过程一体化，在简化操作的同时，可保证粘片精度的用于研磨抛光的晶圆粘片机。设有气缸、3个调节螺杆、压盘轴、3个数显千分表、压盘、晶圆、气缸活塞杆、基板、施力盘、压盘盖、载样盘、圆形加热平台和钢球。

主权项

一种用于研磨抛光的晶圆粘片机，其特征在于设有气缸、3个调节螺杆、压盘轴、3个数显千分表、压盘、晶圆、气缸活塞杆、基板、施力盘、压盘盖、载样盘、圆形加热平台和钢球；所述气缸设在水平工作台上，所述3个调节螺杆、3个数显千分表和基板组成调节机构，所述3个调节螺杆与3个数显千分表均匀设在压盘上的同一个圆上；基板套在气缸活塞杆上，基板沿气缸活塞杆的上下方向自由活动；基板上设有3个螺纹孔，所述3个螺纹孔与3个调节螺杆螺纹连接；施力盘固定在气缸活塞杆下端，设于施力盘上的螺纹孔与压盘轴螺纹连接，施力盘下端设有3个横杆并用螺丝夹紧固定3个数显千分表；所述压盘轴为倒T型结构，所述压盘盖套在压盘轴上，并用螺栓固定连接，压盘轴、压盘盖、钢球和压盘组成自由旋转的球状万向节结构；所述载样盘插入圆形加热平台的中心孔，载样盘上端面粘贴晶圆。