[实用新型]电感式耦合传感器及真空度在线检测装置

摘要

本实用新型公开一种电感式耦合传感器及真空度在线检测装置。电感式耦合传感器，其主要由绝缘支撑外壳、电磁屏蔽罩、电感式耦合传感元件、绝缘板、BNC接口输出端子组成。真空度在线检测装置主要由电感式耦合传感器、信号调理单元、中央处理单元、通信接口单元和显示与报警单元构成。本实用新型具有精确可靠，准确度高、可靠性强的特点。

主权项

电感式耦合传感器，其特征在于：主要由绝缘支撑外壳（1）、电磁屏蔽罩（2）、电感式耦合传感元件（3）、绝缘板（4）、同轴电缆接口输出端子（5）组成；其中绝缘支撑外壳（1）为一个下底面开口的中空柱形的腔体；电磁屏蔽罩（2）为一个上下贯通的中空柱形腔体；电磁屏蔽罩（2）嵌设于绝缘支撑外壳（1）的内部；绝缘板（4）呈中部设有开口的扁片状；相互嵌套的绝缘支撑外壳（1）与电磁屏蔽罩（2）共同固定在绝缘板（4）的一侧，绝缘支撑外壳（1）的下底面开口朝向绝缘板（4），且绝缘支撑外壳（1）的下底面开口与绝缘板（4）的开口相对；同轴电缆接口输出端子（5）固定在绝缘底板的另一侧；电感式耦合传感元件（3）设置在绝缘支撑外壳（1）与电磁屏蔽罩（2）相嵌套所形成的空腔内；电感式耦合传感元件（3）的2个引出端中的一个与同轴电缆接口输出端子（5）的芯线相连、作为电感式耦合传感器信号输出线端，另一个与同轴电缆接口输出端子（5）的外壳相连、作为电感式耦合传感器的参考接地端。