[实用新型]一种硅晶体切割机有效
申请号: | 201220234278.1 | 申请日: | 2012-05-23 |
公开(公告)号: | CN202556607U | 公开(公告)日: | 2012-11-28 |
发明(设计)人: | 王土军;徐增宏;方明游;叶槐勇 | 申请(专利权)人: | 浙江硅宏电子科技有限公司 |
主分类号: | B28D5/04 | 分类号: | B28D5/04;B28D7/04 |
代理公司: | 杭州之江专利事务所(普通合伙) 33216 | 代理人: | 林蜀 |
地址: | 324300 浙江省衢*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本实用新型涉及一种硅晶体切割机,该机的平面滑轨组件、放线排线机构、收线排线机构和凸轮曲轴传动机构设置在机座的工作平台上;放线导线轮组件、放线张力机构、收线导线轮组件、收线张力机构和传动轴座固定设置在平面滑轨组件上;线轮固定架的一端与平面滑轨组件固定连接,传动轴座和凸轮曲轴传动机构通过连动杆相连接;砂浆箱和垂直滑轨组件设置在机座的工作平台下,砂浆箱活动连接在垂直滑轨组件上,线轮固定架的另一端位于砂浆箱中,进给丝杆与砂浆箱相连接,进给丝杆通过丝杆轴承座连接在机座上。采用本实用新型,可以更好地控制切割截面的垂直度,提高切割质量,更有利于后道多线切割硅片的出片率和正品率。 | ||
搜索关键词: | 一种 晶体 切割机 | ||
【主权项】:
一种硅晶体切割机,包括机座、平面滑轨组件、放线排线机构、放线导线轮组件、放线张力机构、收线排线机构、收线导线轮组件、收线张力机构、传动轴座、连动杆、凸轮曲轴传动机构、放线张力机构、切割进给机构、线轮固定架、砂浆箱、垂直滑轨组件、进给丝杆、丝杆轴承座组成,其特征在于平面滑轨组件、放线排线机构、收线排线机构和凸轮曲轴传动机构设置在机座的工作平台上;放线导线轮组件、放线张力机构、收线导线轮组件、收线张力机构和传动轴座固定设置在平面滑轨组件上;线轮固定架的一端与平面滑轨组件固定连接,传动轴座和凸轮曲轴传动机构通过连动杆相连接;砂浆箱和垂直滑轨组件设置在机座的工作平台下,砂浆箱活动连接在垂直滑轨组件上,线轮固定架的另一端位于砂浆箱中,进给丝杆与砂浆箱相连接,进给丝杆通过丝杆轴承座连接在机座上。
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