[实用新型]一种扩散炉有效
| 申请号： | 201220235938.8 | 申请日： | 2012-05-19 |
| 公开（公告）号： | CN202705570U | 公开（公告）日： | 2013-01-30 |
| 发明（设计）人： | 梁明刚 | 申请（专利权）人： | 东莞市启天自动化设备有限公司 |
| 主分类号： | C30B31/06 | 分类号： | C30B31/06 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 523000 广东省东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种扩散炉，包括机架，所述的机架由炉门开关装置和设于炉门开关装置左右两侧的左架体和右架体组成，所述的左架体上依次设置有上下排列的传送装置和工控系统装置，所述的右架体上依次设置有左右排列的硅片扩散装置和空气净化装置；本实用新型通过炉门开关装置、硅片扩散装置和空气净化装置依次实现石英舟的入炉以及硅片的扩散，作为自主研发的系统，本扩散炉通过独特的工艺实现硅片的高效扩散。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 扩散 | ||
【主权项】：
一种扩散炉，包括机架，其特征在于：所述的机架由炉门开关装置(3)和设于炉门开关装置(3)左右两侧的左架体(11)和右架体(12)组成，所述的左架体(11)上依次设置有上下排列的传送装置(2)和工控系统装置(6)，所述的右架体(12)上依次设置有左右排列的硅片扩散装置(4)和空气净化装置(5)。
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