[实用新型]一种载样定位装置有效
| 申请号： | 201220245324.8 | 申请日： | 2012-05-28 |
| 公开（公告）号： | CN202614193U | 公开（公告）日： | 2012-12-19 |
| 发明（设计）人： | 刘桂勇;任殿胜;刘文森 | 申请（专利权）人： | 北京通美晶体技术有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/06 | 分类号： | G01B11/06 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人： | 王朋飞;王加岭 |
| 地址： | 101113 北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种载样定位装置，包括工作台，导轨，样品台和圆盘。导轨水平设置于工作台上，在导轨上或工作台与导轨相邻的边缘上沿导轨方向标记有长度刻度线；样品台与导轨滑动连接，可沿导轨方向左右移动；圆盘位于样品台上，通过一转轴与样品台相连接，圆盘外的样品台上标记有围绕圆盘的角度刻度线。该装置可以对样品准确定位，操作简便，可重复性定位，测试效率高，可用于快速测量晶片表面各点的薄膜厚度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 定位 装置 | ||
【主权项】：
一种载样定位装置，包括工作台(4)，其特征在于，还包括导轨(1)，所述导轨水平设置于工作台(4)上，在所述导轨(1)上或工作台(4)与导轨(1)相邻的边缘上沿导轨(1)方向标记有长度刻度线；样品台(2)，所述样品台(2)与导轨(1)滑动连接，可沿导轨方向左右移动；圆盘(3)，所述圆盘(3)位于样品台(2)上，通过一转轴与样品台(2)相连接，所述圆盘(3)可在样品台(2)上转动，所述圆盘(3)外的样品台(2)上标记有围绕圆盘(3)的角度刻度线。
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