[实用新型]清洗修整盘有效
| 申请号： | 201220248907.6 | 申请日： | 2012-05-30 |
| 公开（公告）号： | CN202656064U | 公开（公告）日： | 2013-01-09 |
| 发明（设计）人： | 冷志红;蔡灵玲 | 申请（专利权）人： | 昆山明本光电有限公司 |
| 主分类号： | B24B53/00 | 分类号： | B24B53/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215325 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种清洗修整盘，其特征在于：该清洗修整盘包括正面和反面，其中，所述正面为修整面，反面为清洗面，该清洗修整盘的外周边上开设有外齿，所述外齿与抛光下模上的内外传动齿啮合；所述修整面的中心开设有中心孔，在修整面的表面镀有金刚石层，且在所述修整面上开设有凹槽；所述清洗面的中心部位开设有滤液孔，在清洗面的表面通过线绳固定连接有刷毛，刷毛呈密集型的设置在清洗面的表面。本结构具体采用的是使用偶数个清洗修整盘置于抛光下模内，且相邻两个清洗修整盘是正反面间隔摆放的，可以一次性完成抛光模具内的清洗以及抛光上模和抛光下模接触面的修整恢复工序，大大提高了抛光机的后期维护工作，保证后期晶片的抛光质量。 | ||
| 搜索关键词： | 清洗 修整 | ||
【主权项】：
一种用于对抛光机上的抛光台面进行修整、清洗的清洗修整盘，其特征在于：该清洗修整盘包括正面和反面，其中，所述正面为修整面(1)，反面为清洗面(2)，该清洗修整盘的外周边上开设有外齿(3)，所述外齿(3)与抛光下模上的内外传动齿啮合；所述修整面(1)的中心开设有中心孔(12)，在修整面(1)的表面镀有金刚石层，且在所述修整面(1)上开设有凹槽(11)；所述清洗面(2)的中心部位开设有滤液孔(21)，在清洗面(2)的表面通过线绳固定连接有刷毛(22)，所述刷毛(22)呈密集型的设置在清洗面(2)的表面。
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