[实用新型]一种航空有机玻璃的真空镀膜装置及镀膜制备

摘要

本实用新型涉及一种航空有机玻璃真空镀膜装置及镀膜制备。用本电子束蒸发和离子辅助的真空镀膜装置连续制备三层″辅-主-辅″沉积薄膜结构，其中两层辅助薄膜分别位于主膜层的底层和顶层。辅助薄膜制备时关闭电子束系统，将外置有机树脂类液体在真空室外加热汽化，喷入真空室，在离子轰击下电离为分子态沉积在基片表面或主膜层上。主膜制备是用针阀关闭有机树脂汽化喷嘴，用金属氧化物膜材在电子束蒸发和辅助离子轰击下沉积在底层膜上形成光学增透膜。本实用新型装置镀膜制备的三层膜系结构具有高附着力、透过率高、雾度低、耐摩擦和耐腐蚀等性能。在航空、汽车、车灯外罩等行业可广泛应用。

主权项

一种航空有机玻璃真空镀膜装置及镀膜制备，其特征在于：真空镀膜装置包括一立式单门真空室、一真空泵组、一电子枪电子束蒸发系统、一带转位的内置镀膜材料的四穴水冷坩埚、一可转位的挡板、一离子轰击捧、真空室顶部有一垂直轴系带动一转盘，其上均布有三组可公转/自转的基材夾具机架、可安装三块经予净化处理的基材、一光电式膜厚监测系统、一数显式主电控系统，以及在真空室外部组合一个装有机树脂液体的不锈钢制的电阻式加热容器和送气管、一针阀开关和一个与真空室箱体连通的喷嘴。