[实用新型]一种电极

摘要

一种电极，它涉及太阳能电池硅基薄膜沉积设备。它包括有电场发射端、接线端、固定孔，电极一端为电场发射端，另一端为接线端，电场发射端侧面有两个固定孔，电场发射端横截面积比接线端截横面积大，电极以接线端从夹具内部向外插出，再用两颗螺丝通过固定孔从侧面将电极固定在夹具上，两个固定孔呈中心对称分布，电极不易松动，电场发射端截面积比接线端截面积大，所以其电场分布较均匀。本实用新型的电极固定，电场稳定，夹具内电场分布均匀。

主权项

一种电极，其特征在于，它包括有电场发射端(1)、接线端(3)、固定孔(2)；所述的电极一端为电场发射端(1)，另一端为接线端(3)，电场发射端(1)侧面有两个固定孔(2)；所述的电场发射端(1)横截面积比接线端(3)截横面积大。