[实用新型]具高功率脉冲电源供应器的磁控溅镀机有效
| 申请号： | 201220255581.X | 申请日： | 2012-06-01 |
| 公开（公告）号： | CN202610313U | 公开（公告）日： | 2012-12-19 |
| 发明（设计）人： | 曾国勋;杨正旭;江郁洲;许富铭 | 申请（专利权）人： | 富优技研股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 北京中原华和知识产权代理有限责任公司 11019 | 代理人： | 寿宁;张华辉 |
| 地址： | 中国台湾桃*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本实用新型是有关于一种具高功率脉冲电源供应器的磁控溅镀机，其至少包括：一真空腔体及至少一磁控溅镀枪。真空腔体为一拱形真空腔体，而磁控溅镀枪设置于真空腔体的至少一侧，并且磁控溅镀枪的电源输入端电性连接于高功率脉冲电源供应器。借由本实用新型的实施，可以使磁控溅镀机能够溅镀多种造型及尺寸的被镀对象，并可采用高功率脉冲磁控溅镀工艺以改善镀膜质量。 | ||
| 搜索关键词： | 功率 脉冲 电源 供应 磁控溅镀机 | ||
【主权项】：
一种具高功率脉冲电源供应器的磁控溅镀机,其特征在于其至少包括一真空腔体及至少一磁控溅镀枪，该磁控溅镀枪设置于该真空腔体的至少一侧，其特征为：该真空腔体为一拱形真空腔体且其具有一拱形门体，又该磁控溅镀枪的电源输入端是电性连接一高功率脉冲电源供应器，且该高功率脉冲电源供应器的操作电压是介于100伏特至2000伏特之间。
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