[实用新型]用于支撑和输送基板的装置有效
| 申请号： | 201220271512.8 | 申请日： | 2012-06-06 |
| 公开（公告）号： | CN203093291U | 公开（公告）日： | 2013-07-31 |
| 发明（设计）人： | 詹佛朗哥·帕斯奎林;马科·加里亚左;戴戈·唐尼;瓦伦蒂娜·福林;乔达诺·洛克;乔治欧·塞勒里 | 申请（专利权）人： | 应用材料意大利有限公司 |
| 主分类号： | B41F17/00 | 分类号： | B41F17/00;H01L21/677;H01L21/687;H01L21/67 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 胡元颖 |
| 地址： | 意大利*** | 国省代码： | 意大利;IT |
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| 摘要： | 本实用新型涉及用于支撑和输送基板的装置，基板用于沉积印刷迹线，该装置包括：支撑板，其具有支撑表面，支撑表面用于支撑放置在支撑表面上的基板；第一流体动力回路，其被配置为在支撑板的支撑表面的一个或多个第一区域中产生第一吸入条件、以维持基板附着到支撑表面上；以及第二流体动力回路，其被配置为在支撑板的支撑表面的一个或多个第二区域中产生第二吸入条件，其中一个或多个第二区域被布置成在基板搁置在支撑表面上时、与基板中的一个或多个孔流体地连通。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 支撑 输送 装置 | ||
【主权项】：
一种用于支撑和输送基板的装置，所述基板用于沉积印刷迹线，所述装置包括： 支撑板，其具有支撑表面，所述支撑表面用于支撑放置在所述支撑表面上的基板； 第一流体动力回路，其被配置为在所述支撑板的所述支撑表面的一个或多个第一区域中产生第一吸入条件、以维持所述基板附着到所述支撑表面上；以及 第二流体动力回路，其被配置为在所述支撑板的所述支撑表面的一个或多个第二区域中产生第二吸入条件，其中所述一个或多个第二区域被布置成在所述基板搁置在所述支撑表面上时、与所述基板中的一个或多个孔流体地连通。
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