[实用新型]晶片单面刷洗机

摘要

本实用新型公开了一种晶片单面刷洗机，包括带有气动门的机体框架，还包括托盘固定板、托盘支承装置、控制系统和若干具有毛刷的毛刷装置，机体框架上安装有药液罐、喷淋装置和固定板移动电机，药液罐与喷淋装置相连接，喷淋装置上设置有若干喷头，机体框架上还固定有毛刷安装架，毛刷装置可旋转地支承在毛刷安装架上，毛刷安装架上固定有驱动毛刷装置旋转的毛刷电机，托盘固定板通过导轨副可滑动地与机体框架连接，固定板移动电机通过丝杆螺母副与托盘固定板活动连接，托盘固定板上固定有托盘轴承座和托盘旋转电机，托盘支承装置可旋转地支承在托盘轴承座上，托盘旋转电机通过传动装置驱动托盘支承装置旋转，托盘支承装置的顶部安装有晶片托盘。本实用新型能够去除晶片表面印渍和脏痕，对晶片清洗效果更好。

主权项

一种晶片单面刷洗机，包括带有气动门（1）的机体框架（2），其特征在于：还包括托盘固定板（3）、托盘支承装置（4）、控制系统和若干具有毛刷（5‑1）的毛刷装置（5），机体框架（2）上安装有药液罐（6）、喷淋装置（7）和固定板移动电机（8），药液罐（6）与喷淋装置（7）相连接，喷淋装置（7）上设置有若干喷头（7‑1），机体框架（2）上还固定有毛刷安装架（9），毛刷装置（5）可旋转地支承在毛刷安装架（9）上，毛刷安装架（9）上固定有驱动毛刷装置（5）旋转的毛刷电机（10），托盘固定板（3）通过导轨副可滑动地与机体框架（2）连接，固定板移动电机（8）通过丝杆螺母副与托盘固定板（3）活动连接，托盘固定板（3）上固定有托盘轴承座（11）和托盘旋转电机（12），托盘支承装置（4）可旋转地支承在托盘轴承座（11）上，托盘旋转电机（12）通过传动装置驱动托盘支承装置（4）旋转，托盘支承装置（4）的顶部安装有晶片托盘（13）。