[实用新型]一种多坩埚电子枪有效
| 申请号： | 201220275517.8 | 申请日： | 2012-06-08 |
| 公开（公告）号： | CN202688419U | 公开（公告）日： | 2013-01-23 |
| 发明（设计）人： | 关永卿;陈军;刘黎明;洪婧;陈虹飞;田俊杰;汪文忠;邓凤林;郑栋;将卫金;赵山泉 | 申请（专利权）人： | 杭州大和热磁电子有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/30 | 分类号： | C23C14/30 |
| 代理公司： | 杭州天正专利事务所有限公司 33201 | 代理人： | 王兵;黄美娟 |
| 地址： | 310053 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种多坩埚电子枪，包括多个坩埚、传动轴和盖板，所述多个坩埚沿所述传动轴轴心圆周排列，所述坩埚上方设有盖板，所述盖板上设有孔，还包括一升降机构，所述升降机构设置在所述盖板下方且与所述盖板相连；当镀膜时，所述升降机构将所述盖板下降，所述盖板与坩埚口紧贴；当需要转动坩埚时，所述升降机构将所述盖板升高，所述盖板与坩埚之间产生缝隙，避免盖板与坩埚卡死。本实用新型解决了盖板与坩埚卡死的问题，且盖板紧贴坩埚口，可以防止蒸发源材料通过盖板孔污染其他源材料。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 坩埚 电子枪 | ||
【主权项】：
一种多坩埚电子枪，包括多个坩埚、传动轴和盖板，所述多个坩埚沿所述传动轴轴心圆周排列，所述坩埚上方设有盖板，所述盖板上设有孔，其特征在于：还包括一升降机构，所述升降机构设置在所述盖板下方且与所述盖板相连；当镀膜时，所述升降机构将所述盖板下降，所述盖板与坩埚口紧贴；当需要转动坩埚时，所述升降机构将所述盖板升高，所述盖板与坩埚之间产生缝隙，避免盖板与坩埚卡死。
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