[实用新型]一种一体化真空镀膜机有效
| 申请号： | 201220277371.0 | 申请日： | 2012-06-08 |
| 公开（公告）号： | CN202688413U | 公开（公告）日： | 2013-01-23 |
| 发明（设计）人： | 陈军;刘黎明;关永卿;洪婧;陈虹飞;田俊杰;汪文忠;邓凤林;郑栋;将卫金;赵山泉 | 申请（专利权）人： | 杭州大和热磁电子有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/00 | 分类号： | C23C14/00 |
| 代理公司： | 杭州天正专利事务所有限公司 33201 | 代理人： | 王兵;黄美娟 |
| 地址： | 310053 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种一体化真空镀膜机，包括一侧设置有电气柜的真空腔体和设置在真空腔体另一侧的机架，还包括导轨，所述电气柜和所述真空腔体一体式连接；所述导轨设置在所述真空腔体的底部，所述电气柜通过所述导轨与所述机架滑动连接，所述电气柜通过所述导轨可横向移动；所述电气柜的侧面设有多个用于铺设电缆的通孔。本实用新型既保证了真空腔体的维护方便，又减少了占地面积，方便了安装调试，减少了安装调试的周期。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 一体化 真空镀膜 | ||
【主权项】：
一种一体化真空镀膜机，包括一侧设置有电气柜的真空腔体和设置在真空腔体另一侧的机架，其特征在于：还包括导轨，所述电气柜和所述真空腔体一体式连接；所述导轨设置在所述真空腔体的底部，所述电气柜通过所述导轨与所述机架滑动连接，所述电气柜通过所述导轨可横向移动。
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