[实用新型]用于晶体硅太阳能电池刻蚀槽的辊筒结构有效
| 申请号： | 201220279886.4 | 申请日： | 2012-06-14 |
| 公开（公告）号： | CN202601708U | 公开（公告）日： | 2012-12-12 |
| 发明（设计）人： | 马熠隆;程曦;段甜健;夏伟;包崇彬;李质磊;盛雯婷;张凤鸣 | 申请（专利权）人： | 天威新能源控股有限公司;保定天威集团有限公司 |
| 主分类号： | H01L31/18 | 分类号： | H01L31/18 |
| 代理公司： | 成都行之专利代理事务所(普通合伙) 51220 | 代理人： | 谭新民 |
| 地址： | 610000 四川省成都*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了用于晶体硅太阳能电池刻蚀槽的辊筒结构，包括全辊筒（2）、骨头状辊筒（3）以及固定全辊筒（2）、骨头状辊筒（3）的刻蚀槽（1），全辊筒（2）的形状为圆柱形，骨头状辊筒（3）由全辊筒（2）等间距环切得到，全辊筒（2）与骨头状辊筒（3）的中心线相互平行，且全辊筒（2）与骨头状辊筒（3）的中心线位于同一水平面上。本实用新型采用上述结构，能减小工艺过程中酸的耗量，且能使硅片背面获得较好的抛光效果，保证良好的工艺质量。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 晶体 太阳能电池 刻蚀 结构 | ||
【主权项】：
用于晶体硅太阳能电池刻蚀槽的辊筒结构，其特征在于：包括全辊筒（2）、骨头状辊筒（3）以及固定全辊筒（2）、骨头状辊筒（3）的刻蚀槽（1），所述全辊筒（2）的形状为圆柱形，所述骨头状辊筒（3）由全辊筒（2）等间距环切得到，所述全辊筒（2）与骨头状辊筒（3）的中心线相互平行，且全辊筒（2）与骨头状辊筒（3）的中心线位于同一水平面上。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射，或微粒辐射敏感的，并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件；专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的，例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的，一个或多个电光源，如场致发光光源在结构上相连的，并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
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H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的，一个或多个电光源，如场致发光光源在结构上相连的，并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
