[实用新型]一种超净高纯氢氟酸的生产装置有效
| 申请号： | 201220280686.0 | 申请日： | 2012-06-14 |
| 公开（公告）号： | CN202785641U | 公开（公告）日： | 2013-03-13 |
| 发明（设计）人： | 周耀庆 | 申请（专利权）人： | 江阴苏龙微电子材料有限公司 |
| 主分类号： | C01B7/19 | 分类号： | C01B7/19 |
| 代理公司： | 江阴大田知识产权代理事务所(普通合伙) 32247 | 代理人： | 杨新勇 |
| 地址： | 214400 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种超净高纯氢氟酸的生产装置，包括用于与氟化氢储罐相通的精馏塔釜，精馏塔釜底部设置有排渣口，精馏塔釜上部设置有连通的精馏塔，精馏塔的塔顶出料口设置有冷凝器，冷凝器的出料口通过管道与混合器的氢氟酸进料口相连通，混合器的塔底氢氟酸出料口与冷却器进料口相连通，冷却器的出料口依次与中间罐、耐酸泵、微滤器和成品罐相连通，微滤器和阀门之间的管道上设置有氢氟酸回流支管，氢氟酸回流支管上设置有阀门，设置支管的三通处与微滤器之间设置有阀门。该装置工艺流程合理、生产效率高、氢氟酸冷却效果好、产品质量稳定。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 净高 氢氟酸 生产 装置 | ||
【主权项】：
一种超净高纯氢氟酸的生产装置，其特征在于，所述生产装置包括用于与氟化氢储罐相通的精馏塔釜，所述精馏塔釜底部设置有排渣口，所述精馏塔釜上部设置有连通的精馏塔，所述精馏塔的塔顶出料口设置有冷凝器，所述冷凝器的出料口通过管道与混合器的氢氟酸进料口相连通，所述混合器的塔底氢氟酸出料口与冷却器进料口相连通，所述冷却器的出料口依次与中间罐、耐酸泵、微滤器和成品罐相连通，所述微滤器和阀门之间的管道上设置有氢氟酸回流支管，所述氢氟酸回流支管上设置有阀门，设置所述支管的三通处与微滤器之间设置有阀门。
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