[实用新型]CZ直拉法单晶炉软轴压线装置有效
申请号: | 201220282000.1 | 申请日: | 2012-06-14 |
公开(公告)号: | CN202755094U | 公开(公告)日: | 2013-02-27 |
发明(设计)人: | 马四海;张笑天;丁磊;马先松;马青;徐大国 | 申请(专利权)人: | 马鞍山明鑫光能科技有限公司 |
主分类号: | C30B15/00 | 分类号: | C30B15/00 |
代理公司: | 安徽合肥华信知识产权代理有限公司 34112 | 代理人: | 方峥 |
地址: | 243100 安徽*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种CZ直拉法单晶炉软轴压线装置,包括有基座,基座上转动安装有转轴,转轴上安装有活动臂,转轴的两端分别安装有卡簧,位于活动臂与基座之间的转轴上安装有轴用弹簧;活动臂上设有轴孔,轴孔内安装有轴承,有轴穿过轴承的内圈,轴上安装有压轮。本实用新型在提高单晶炉晶转方面具有比较优异的效果,一般能够维持12~15转的晶转,晶体晃动系数<2mm,相比一般的压线装置一般仅能够达到8~10转的晶转,晃动系数<2mm,能最大的发挥单晶炉的旋转极限,更适应目前的高晶转工艺拉制单晶产品。 | ||
搜索关键词: | cz 直拉法单晶炉软轴压 线装 | ||
【主权项】:
一种CZ直拉法单晶炉软轴压线装置,包括有基座,其特征在于:所述的基座上转动安装有转轴,所述的转轴上安装有活动臂,转轴的两端分别安装有卡簧,位于活动臂与基座之间的转轴上安装有轴用弹簧;所述的活动臂上设有轴孔,轴孔内安装有轴承,有轴穿过轴承的内圈,轴上安装有压轮。
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