[实用新型]大口径光学元件光学特性的快速检测装置

摘要

本实用新型公开了一种大口径光学元件光学特性的快速检测装置，包括泵浦光源，泵浦光能量回收反射镜，泵浦光束吸收装置，探测光源，顺次设置于探测光源输出端后的探测光束整形装置和偏振分光镜、设置于偏振分光镜透射输出端后四分之一波片，顺次设置于偏振分光镜反射输出端后空间滤波器阵列、滤光片和光电探测器阵列。本实用新型利用泵浦光能量回收反射镜对被测样品反射出来的激光能量进行回收重复利用从而大幅度提高大口径光学元件光学特性检测速度，可以用于光热无损检测、光热精密测量、光学吸收光谱、光热成像与缺陷分析等多个领域，特别适用于对大口径激光反射镜微弱吸收特性的快速检测与成像。

主权项

大口径光学元件光学特性的快速检测装置，包括泵浦光源、探测光源、光电探测器、设置于光电探测器前端的滤光片和空间滤波器，其特征在于：所述的大口径光学元件光学特性的快速检测装置还包括有泵浦光能量回收反射镜，泵浦光束吸收装置，顺次设置于探测光源输出端后的探测光束整形装置和偏振分光镜，设置于偏振分光镜透射输出端后四分之一波片；所述的空间滤波器阵列、滤光片和光电探测器阵列均设置于偏振分光镜反射输出端后。