[实用新型]线性薄膜磁阻传感器、线性薄膜磁阻传感器电路及闭环电流传感器与开环电流传感器有效
申请号: | 201220291630.5 | 申请日: | 2012-06-20 |
公开(公告)号: | CN203132562U | 公开(公告)日: | 2013-08-14 |
发明(设计)人: | 王建国 | 申请(专利权)人: | 宁波瑞纳森电子科技有限公司 |
主分类号: | G01D5/12 | 分类号: | G01D5/12 |
代理公司: | 无锡市大为专利商标事务所 32104 | 代理人: | 曹祖良 |
地址: | 315336 浙江省宁波杭州*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本实用新型涉及一种线性薄膜磁阻传感器、线性薄膜磁阻传感器电路及闭环电流传感器与开环电流传感器,其包括种子层;参考层,位于种子层上,具有第一磁矩;非磁性隔离层,位于所述参考层上,将参考层与磁性自由层隔离;磁性自由层,位于非磁性隔离层上,具有第二磁矩,所述第二磁矩具有垂直于膜面的各向异性,且第二磁矩的方向与第一磁矩的方向相互垂直。本实用新型由于磁性自由层的第二磁矩具有垂直于膜面的各向异性,磁性自由层在平行于膜面的方向表现出极低的磁滞,并且较低的饱和场,使得形成磁阻传感器具有较高的灵敏度;磁滞小,精度和线性度高,线性范围可调,工艺简单,响应频率高,成本低,抗干扰性强和温度特性好。 | ||
搜索关键词: | 线性 薄膜 磁阻 传感器 电路 闭环 电流传感器 开环 | ||
【主权项】:
一种线性薄膜磁阻传感器,其特征是,包括: 种子层; 参考层,位于所述种子层上,具有第一磁矩; 非磁性隔离层,位于所述参考层上,将参考层与磁性自由层隔离; 磁性自由层,位于非磁性隔离层上,具有第二磁矩,所述第二磁矩具有垂直于膜面的各向异性,且第二磁矩的方向与第一磁矩的方向相互垂直。
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