[实用新型]一种卷帘式晶片检测机宏观目检观测窗口结构有效
| 申请号： | 201220297030.X | 申请日： | 2012-06-21 |
| 公开（公告）号： | CN202633247U | 公开（公告）日： | 2012-12-26 |
| 发明（设计）人： | 瞿丹红;姜舜;陈丽娟 | 申请（专利权）人： | 上海华力微电子有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/66 | 分类号： | H01L21/66 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 陆花 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型提出一种卷帘式晶片检测机宏观目检观测窗口结构，包括：透明隔离层，设置于所述观测窗口面板上；不透明遮挡层卷轴，设置于所述透明隔离层顶端；卷帘式遮挡层，卷设于所述不透明遮挡层卷轴上。本实用新型提出的改进卷帘式晶片检测机宏观观测窗口，将其设计成为透明不透明可切换的模式，如进行晶片宏观检查就使其观测窗口保持透明状态，如需进行晶片宏观拍照时就将其观测窗口调整为不透明状态。这样既保证了晶片宏观检查所需的正常操作模式，也减少了晶片宏观拍照时外部灯光环境对晶片表面造成的反射，保证了晶片宏观照片质量，避免了由于晶片与机台外环境直接接触而产生微粒。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 卷帘 晶片 检测 宏观 观测 窗口 结构 | ||
【主权项】：
一种卷帘式晶片检测机宏观目检观测窗口结构，其特征在于，包括：透明隔离层，设置于所述观测窗口面板上；不透明遮挡层卷轴，设置于所述透明隔离层顶端；卷帘式遮挡层，卷设于所述不透明遮挡层卷轴上。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
