[实用新型]硅片检测装置有效
| 申请号： | 201220299096.2 | 申请日： | 2012-06-25 |
| 公开（公告）号： | CN202676616U | 公开（公告）日： | 2013-01-16 |
| 发明（设计）人： | 刘夏初;苗新利;潘加永 | 申请（专利权）人： | 库特勒自动化系统（苏州）有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/89 | 分类号： | G01N21/89 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 何平 |
| 地址： | 215168 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种硅片检测装置，用于检测硅片表面沾污，其包括用以传送硅片的传送带、位于传送带上方的光源模组、以及位于光源模组上方的影像传感器，光源模组的截面呈“n”形，其两侧边缘底部各设有LED灯，光源模组的顶部开设一狭缝，影像传感器位于穿过狭缝的光线方向上。本实用新型可弱化影像传感器捕获的硅片晶界的视觉图像，从而突出显示硅片表面的沾污图像。 | ||
| 搜索关键词： | 硅片 检测 装置 | ||
【主权项】：
一种硅片检测装置，用于检测硅片表面沾污，其包括：用以传送硅片的传送带、位于传送带上方的光源模组、以及位于光源模组上方的影像传感器，其特征在于：光源模组的截面呈“n”形，其两侧边缘底部各设有LED灯，光源模组的顶部开设一狭缝，影像传感器位于穿过狭缝的光线方向上。
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