[实用新型]一种采用增强物理隔离的静电吸附装置

摘要

本实用新型涉及一种采用增强物理隔离的静电吸附装置。包括高压集尘片和低压集尘片、上支撑卡板和下支撑卡板、夹持条、高压引导条和低压引导条、铝柱以及钨铝丝。上支撑卡板和下支撑卡板上所设的排列支撑高压集尘片和低压集尘片的支撑隔离筋设置延伸部，该延伸部为“Y”形延伸部，并且高压集尘片和低压集尘片的四个角均设置为R角且所述的R为5，以减小引弧表面曲率，减弱局部感应静电密度。解决了高压集尘片与低压集尘片之间通过上支撑卡板和下支撑卡板的支撑隔离筋的不正常爬电问题，从而避免了空气相对湿度增大时不正常放电现象的发生。

主权项

一种采用增强物理隔离的静电吸附装置，包括高压集尘片和低压集尘片、上支撑卡板和下支撑卡板、夹持条、高压引导条和低压引导条、铝柱以及钨铝丝；所述的高压集尘片和低压集尘片由夹持条夹持，以上支撑卡板和下支撑卡板为支撑相间平行排列，并分别连接至设置于上支撑卡板和下支撑卡板外侧的高压引导条和低压引导条加以固定；所述铝柱和钨铝丝相间设置并固定在上支撑卡板和下支撑卡板上，所述铝柱与低压引导条相连接，所述钨铝丝与高压引导条相连接；其特征在于，所述上支撑卡板和下支撑卡板上所设的排列支撑高压集尘片和低压集尘片的支撑隔离筋设置延伸部。