[实用新型]一种声光式外差干涉仪的光路装置

摘要

本实用新型公开了一种声光式外差干涉仪的光路装置，包括：光源、分光镜、平面镜、一对声光调制器、偏振分光镜、一对四分之一波片、一对角锥棱镜、一对偏振片和一对光接收器。该装置利用声光调制器对入射光的位相和频率进行调制，利用其一级衍射光作为出射光，获得频率稳定性好且频差较高的双频激光，He-Ne激光器所发出的激光经分光镜分光及声光调制器后，分别经过不同的光路，所设计干涉光路两束光为非共光路，但不存在光学死程的现象。本实用新型稳定性好、光学结构简单、容易调整；可以应用于高速测量。

主权项

一种声光式外差干涉仪的光路装置，其特征在于，包括： 光源，提供一束激光； 分光镜（2），与所述光源处于同水平线上，接受所述光源发出的光，分成两束光，一束光沿着原光路透过分光镜（2），另一束光向下方射出； 平面镜（14），设置于所述分光镜（2）下方，将经过分光镜（2）下方的光以水平方向反射出去； 声光调制器f1（3）和声光调制器f2（13），分别接受分光镜（2）分成的两束光，使两束光发生声光相互作用后产生相应不同的频移，其中，一束光沿着原光路透过分光镜（2），另一束光折射经过平面镜（14）反射后，两束光分别平行入射到声光调制器f1（3）、声光调制器f2（13），设经过声光调制器f1（3）、声光调制器f2（13）的两束出射光分别为光W1和光W2； 偏振分光镜（4），接受所述声光调制器f1（3）、声光调制器f2（13）出射的光W1和光W2，具有两个偏振分光膜，分为上偏振分光膜和下偏振分光膜，使W1光分为两束正交的线偏振光，且在同一块棱镜中完成两束光W1和光W2汇合分光； 第一四分之一波片（5）和第二四分之一波片（7），使偏振方向旋转90度，使得原来透射的光被反射，原来反射的光被透射，所述第一四分之一波片（5）设置于所述偏振分光镜（4）的上方，所述第二四分之一波片（7）设置于所述偏振分光镜（4）旁侧； 第一角锥棱镜（6）和第二角锥棱镜（8），使光线沿平行于原光路返回，所述第一角锥棱镜（6）设置于所述第一四分之一波片（5）的上方，所述第二角锥棱镜（8）设置于所述第二四分之一波片（7）的旁侧； 第一偏振片（10）和第二偏振片（12），使两种频率的光在同方向上干涉，所述第一偏振片（10）设置于所述偏振分光镜（4）的旁 侧，所述第二偏振片（12）设置于所述偏振分光镜（4）的下方；以及 第一光接收器（9）和第二光接收器（11），使接收到的光强信号转化为电信号，所述第一光接收器（9）设置于所述第一偏振片（10）的旁侧、所述第二光接收器（11）设置于所述第二偏振片（12）的下方。