[实用新型]一种纵向放片的石英舟

摘要

本实用新型公开了一种纵向放片的石英舟，由设在两端部的U型端面框和连接U型端面框的纵梁组成，在上纵梁之间设有上横梁，上横梁与上纵梁之间平面形成若干硅片放置区，在下纵梁之间设有下横梁，在上横梁和下横梁上均设有沿横梁长度方向均匀设置的卡槽，卡槽槽宽与硅片厚度相吻合，本实用新型不改变原有石英舟的外形和U型端面框，仅在原石英舟纵梁上增加带有卡槽的上下横梁结构，将单个横向放置的硅片放置区变成多个纵向放置的放置存放区，硅片表面与扩散炉内工艺气体的流向一致，工艺气体可均匀稳定地从硅片之间穿过，所有硅片均可实现均匀的扩散加工，硅片表面掺杂均匀性好、方块电阻均匀，满足太阳能电池对扩散工艺的技术要求。

主权项

一种纵向放片的石英舟，放置于扩散炉（1）内，所述石英舟的纵向轴线与扩散炉腔体中心线平行，石英舟内放置有若干待进行扩散加工的硅片（2），其特征在于：所述石英舟呈长方体，由设在两端部相互平行的U型端面框（3）和垂直连接U型端面框且相互平行的纵梁组成，所述纵梁为两对，包括分布于U型端面框四个边角的一对对称且等高的上纵梁（4）和一对对称且等高的下纵梁（5），所述上纵梁与所述下纵梁之间的高度差与所述硅片的高度相吻合，下纵梁轴线与U型端面框的底面设有一定距离，在一对上纵梁之间设有均匀排列且与上纵梁连接的若干上横梁（6），相邻两根上横梁的间距与硅片的宽度相吻合，上横梁与上纵梁之间平面构成硅片放置区，在一对下纵梁之间设有与下纵梁连接的下横梁（7），所述下横梁与上横梁平行且设在对应的硅片放置区投影面内。