[实用新型]气体浓度控制装置有效
| 申请号： | 201220320628.6 | 申请日： | 2012-07-03 |
| 公开（公告）号： | CN202705565U | 公开（公告）日： | 2013-01-30 |
| 发明（设计）人： | 崔娟娟;程朝阳;刘俊豪;马超 | 申请（专利权）人： | 北京七星华创电子股份有限公司 |
| 主分类号： | C30B25/14 | 分类号： | C30B25/14;C30B25/16;C30B23/02 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人： | 王莹 |
| 地址： | 100015 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种气体浓度控制装置，所述装置包括：进口气路单元，用于控制、过滤、调节以及显示进口气体压力，并将处理后的气体送入源瓶；源瓶，用于存放源气体；出口气路单元，用于控制以及显示出口气体压力，并将源瓶出口的混合气体送入气体浓度检测单元；气体浓度检测单元，用于检测气体的携带源浓度，并将混合气体通过流量控制单元；流量控制单元，用于控制混合气体流量，并将混合气体通入工艺腔室。本实用新型的气体浓度控制装置扩展性强，控制精度高，可靠性、可重复性和稳定性好。 | ||
| 搜索关键词： | 气体 浓度 控制 装置 | ||
【主权项】：
一种气体浓度控制装置，其特征在于，所述装置包括：进口气路单元，用于控制、过滤、调节以及显示进口气体压力，并将处理后的气体送入源瓶；源瓶，用于存放源气体；出口气路单元，用于控制以及显示出口气体压力，并将源瓶出口的混合气体送入气体浓度检测单元；气体浓度检测单元，用于检测气体的携带源浓度，并将混合气体通过流量控制单元；流量控制单元，用于控制混合气体流量，并将混合气体通入工艺腔室。
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