[实用新型]石英坩埚内表面喷涂装置有效
| 申请号： | 201220323536.3 | 申请日： | 2012-07-04 |
| 公开（公告）号： | CN202730000U | 公开（公告）日： | 2013-02-13 |
| 发明（设计）人： | 涂永文;周勇;吴洪联;吴伟华 | 申请（专利权）人： | 杭州先进石英材料有限公司 |
| 主分类号： | C03C17/00 | 分类号： | C03C17/00 |
| 代理公司： | 杭州天正专利事务所有限公司 33201 | 代理人： | 王兵;黄美娟 |
| 地址： | 310053 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种石英坩埚内表面喷涂装置，包括驱动装置、回转平台、支撑平台和喷枪，所述支撑平台设在所述回转平台上且可随所述回转平台旋转，所述喷枪包括喷嘴和连接杆，所述连接杆一端设在一可往复上下运动的导轨支架上，另一端螺纹连接所述喷嘴，所述导轨支架和所述回转平台分别与所述驱动装置相连。本实用新型均能保证在一致的喷涂压力、坩埚旋转速度、喷涂时间和喷涂均一的条件下完成内表面喷涂，喷嘴能沿坩埚内表面均匀移动进行喷涂，100%喷涂到坩埚内表面，并且来回多次循环喷涂坩埚内表面。 | ||
| 搜索关键词： | 石英 坩埚 表面 喷涂 装置 | ||
【主权项】：
石英坩埚内表面喷涂装置，其特征在于：包括驱动装置、回转平台、支撑平台和喷枪，所述支撑平台设在所述回转平台上且可随所述回转平台旋转，所述喷枪机构包括喷嘴和连接杆，所述连接杆一端设在一可往复上下运动的导轨支架上，另一端螺纹连接所述喷嘴，所述导轨支架和所述回转平台分别与所述驱动装置相连。
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