[实用新型]一种防震不易变形的晶圆切割机底座结构有效
| 申请号： | 201220333639.8 | 申请日： | 2012-07-11 |
| 公开（公告）号： | CN202727130U | 公开（公告）日： | 2013-02-13 |
| 发明（设计）人： | 李建文 | 申请（专利权）人： | 福州胜忆电子科技有限公司 |
| 主分类号： | B28D5/00 | 分类号： | B28D5/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 350015 福建省福州市*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种防震不易变形的晶圆切割机底座结构，其包括设于晶圆切割机中的底座，所述底座上设有用于固定晶圆切割机X轴、Y轴精密直线导轨的导轨安装凸台，所述导轨安装凸台上设有精密直线导轨固定孔，所述底座为由人造花岗岩或人造大理石制成的一体式底座；本实用新型将晶圆切割机底座改为由人造花岗岩或人造大理石制成的一体式底座，人造花岗岩或人造大理石的温差系数低、不容易变形，人造花岗岩或人造大理石的防震性能优越，有利于提高晶圆切割机的稳定性和加工精度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 防震 不易 变形 切割机 底座 结构 | ||
【主权项】：
一种防震不易变形的晶圆切割机底座结构，其特征在于：包括设于晶圆切割机中的底座，所述底座上设有用于固定晶圆切割机X轴、Y轴精密直线导轨的导轨安装凸台，所述导轨安装凸台上设有精密直线导轨固定孔，所述底座为由人造花岗岩或人造大理石制成的一体式底座。
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