[实用新型]一种晶圆切割机主轴前置结构有效
| 申请号： | 201220333656.1 | 申请日： | 2012-07-11 |
| 公开（公告）号： | CN202727131U | 公开（公告）日： | 2013-02-13 |
| 发明（设计）人： | 李建文 | 申请（专利权）人： | 福州胜忆电子科技有限公司 |
| 主分类号： | B28D5/02 | 分类号： | B28D5/02 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 350015 福建省福州市*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种晶圆切割机主轴前置结构，其包括设于晶圆切割机上的主轴前支架，所述主轴前支架靠近硅片定位平台的一侧上方设有固定座，所述固定座中设有切割主轴部件，所述切割主轴部件中设有切割刀片；本实用新型将晶圆切割机的切割主轴部件设置在主轴前支架靠近硅片定位平台的一侧上方，从而能够降低切割主轴的长度，使悬臂部分更短，增加主轴部件的刚性，并能够有效减少因热胀冷缩效应引起的变形，使切割主轴及切割刀片位置的更加不易偏移，有利于提高晶圆切割机的稳定性和加工精度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 切割机 主轴 前置 结构 | ||
【主权项】：
一种晶圆切割机主轴前置结构，其特征在于：包括设于晶圆切割机上的主轴前支架，所述主轴前支架靠近硅片定位平台的一侧上方设有固定座，所述固定座中设有切割主轴部件，所述切割主轴部件中设有切割刀片。
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