[实用新型]用于直拉硅单晶炉的热屏屏罩有效
申请号: | 201220334756.6 | 申请日: | 2012-07-11 |
公开(公告)号: | CN202766655U | 公开(公告)日: | 2013-03-06 |
发明(设计)人: | 梁永生;李迎春;徐鹏国 | 申请(专利权)人: | 银川隆基硅材料有限公司;宁夏隆基硅材料有限公司;西安隆基硅材料股份有限公司;无锡隆基硅材料有限公司 |
主分类号: | C30B15/00 | 分类号: | C30B15/00;C30B29/06 |
代理公司: | 西安弘理专利事务所 61214 | 代理人: | 罗笛 |
地址: | 750021 宁夏回族自*** | 国省代码: | 宁夏;64 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种用于直拉硅单晶炉的热屏屏罩,在热屏外胆内腔中设置有一个反射板,热屏外胆和反射板之间设置有隔热层,反射板与热屏内胆的形状一致,为上口大、下口小的中空环形结构;反射板上沿与散热盘的环形开口端下沿固定连接,散热盘的帽沿部分高出热场大盖上沿,散热盘的帽沿最大直径大于反射板上沿开口直径。本实用新型的装置,在温度较低的热场上方安装有散热盘,且散热盘与反射板连接起来,通过热传导的方式有效地将反射板吸收的热量传递到温度较低的热场上部,有效降低了晶体接受的反射板反射热量,更大程度加大了晶体的散热,提高晶体生长速度。 | ||
搜索关键词: | 用于 直拉硅单晶炉 热屏屏罩 | ||
【主权项】:
一种用于直拉硅单晶炉的热屏屏罩,其特征在于:在热屏外胆(3)内腔中设置有一个反射板(1),热屏外胆(3)和反射板(1)之间为隔热层,反射板(1)为上口大、下口小的中空环形结构;反射板(1)上沿与散热盘(2)的环形开口端下沿固定连接,散热盘(2)的上端沿高于热场大盖(4)的上沿。
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