[实用新型]一种层压机真空管道异物沉积装置有效
申请号: | 201220339712.2 | 申请日: | 2012-07-13 |
公开(公告)号: | CN202782103U | 公开(公告)日: | 2013-03-13 |
发明(设计)人: | 何宝林;刘建明;曹鑫 | 申请(专利权)人: | 杭州太阳能技术有限公司 |
主分类号: | B32B43/00 | 分类号: | B32B43/00 |
代理公司: | 浙江杭州金通专利事务所有限公司 33100 | 代理人: | 王桂名 |
地址: | 310024 浙江省杭*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本实用新型涉及一种层压机真空管道异物沉积装置,包括热板、真空软管、下室管道、支管、总管、真空阀、上室管道和真空泵管道,所述异物沉积装置还包括沉淀弯头,沉淀弯头底部设有沉淀口;热板设有真空口,真空口通过支管弯头与真空软管相连,真空软管连通下室管道,下室管道通过支管三通连接至支管,支管通过总管三通连接至总管,总管通过沉淀弯头连接至真空阀,真空阀分别与上室管道和真空泵管道相连。本实用新型结构简单,成本低,能有效控制异物,且具有方便拆卸、易于清理等优点。 | ||
搜索关键词: | 一种 层压 真空 管道 异物 沉积 装置 | ||
【主权项】:
一种层压机真空管道异物沉积装置,包括热板、真空软管、下室管道、支管、总管、真空阀、上室管道和真空泵管道,其特征在于:所述异物沉积装置还包括沉淀弯头,沉淀弯头底部设有沉淀口;热板设有真空口,真空口通过支管弯头与真空软管相连,真空软管连通下室管道,下室管道通过支管三通连接至支管,支管通过总管三通连接至总管,总管通过沉淀弯头连接至真空阀,真空阀分别与上室管道和真空泵管道相连。
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