[实用新型]一种原子力显微镜探针悬臂振动装置有效
| 申请号： | 201220341620.8 | 申请日： | 2012-07-13 |
| 公开（公告）号： | CN202676735U | 公开（公告）日： | 2013-01-16 |
| 发明（设计）人： | 邵志峰;张金金;丹尼尔·恰科夫;孙洁林;沈轶;胡钧 | 申请（专利权）人： | 上海交通大学 |
| 主分类号： | G01Q60/38 | 分类号： | G01Q60/38 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 郑玮 |
| 地址： | 200240 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型提出一种原子力显微镜探针悬臂振动装置，包括：有机玻璃模块，在其上面有2个长方形的槽，分别安置探针和铟化镓导电玻璃，探针悬臂镀有金属的背面和导电玻璃作为两个电极，在这两个电极间施加交流信号从而产生静电力来驱动悬臂振动，进一步叠加直流信号来提高悬臂振动幅度；不锈钢模块，用于稳定此装置，减小漂移。本实用新型在用静电力驱动原子力显微镜探针悬臂振动的基础上发展了一种通过叠加直流偏压增加振动幅值的装置，该装置结构简单，操作方便，作用力直接施加于悬臂，避免了悬臂振动频谱图中杂峰的出现，提高了振幅，从而振动信号的信噪比增加，有利于锁定真正的悬臂共振频率，进而提高了仪器的分辨率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 原子 显微镜 探针 悬臂 振动 装置 | ||
【主权项】：
一种原子力显微镜探针悬臂振动装置，其特征在于，包括：有机玻璃基底；第一沟槽和第二沟槽，分别设置于所述有机玻璃基底上；探针，设置于所述第一沟槽；导电玻璃，设置于所述第二沟槽。
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