[实用新型]复合型真空规校准系统有效
| 申请号： | 201220342198.8 | 申请日： | 2012-07-16 |
| 公开（公告）号： | CN202793685U | 公开（公告）日： | 2013-03-13 |
| 发明（设计）人： | 卢耀文 | 申请（专利权）人： | 卢耀文 |
| 主分类号： | G01L27/00 | 分类号： | G01L27/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 100081 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型公开的复合型真空规校准系统，属于测量技术领域。本实用新型公开的复合型真空规校准系统包括机械泵、分子泵、第一真空阀门、第二真空阀门、第三真空阀门、第四真空阀门、第五真空阀门、第六真空阀门、第七真空阀门、真空规、电容薄膜规、第三真空规、校准室、第一小孔、第二小孔、气源。本实用新型公开的复合型真空规校准系统具有成本低、重量和体积小、便携等特点。 | ||
| 搜索关键词： | 复合型 真空 校准 系统 | ||
【主权项】：
复合型真空规校准系统，其特征在于：包括机械泵(1)、分子泵(3)、第一真空阀门(2)、第二真空阀门(4)、第三真空阀门(5)、第四真空阀门(9)、第五真空阀门(10)、第六真空阀门(12)、第七真空阀门(13)、真空规(7)、电容薄膜规(11)、第三真空规(14)、校准室(6)、第一小孔(8)、第二小孔(15)、气源(16)；机械泵(1)同时与第一真空阀门(2)相连接；第一真空阀门(2)另一端与分子泵(3)相连接；第二真空阀门(4)的一端与分子泵(3)连接，另一端通过第二小孔(15)与校准室(6)连接；第三真空阀门(5)与第一真空阀门(2)、分子泵(3)、第二真空阀门(4)并联；校准室(6)又分别与第一真空规(7)、第三真空规(14)、第一小孔(8)和第五真空阀门(10)相连接；第一小孔(8)的另一侧依次与第四真空阀门(9)、第七真空阀门(13)相连接；第五真空阀门(10)的另一侧与电容薄膜规(11)相连接；用管路连通第四真空阀门(9)、第五真空阀门(10)，使校准室(6)、第一小孔(8)、第四真空阀门(9)、第五真空阀门(10)形成一个回路，管路上设置第六真空阀门(12)。
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