[实用新型]大容量多晶硅铸锭炉热场结构有效

专利信息
申请号: 201220343882.8 申请日: 2012-07-16
公开(公告)号: CN202881446U 公开(公告)日: 2013-04-17
发明(设计)人: 冯银辉 申请(专利权)人: 深圳市石金科技有限公司
主分类号: C30B28/06 分类号: C30B28/06;C30B29/06
代理公司: 深圳市世纪恒程知识产权代理事务所 44287 代理人: 胡海国
地址: 518000 广东省深圳市*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 实用新型涉及一种大容量多晶硅铸锭炉热场结构,包括炉体、设置在炉体内的隔热笼热场保温层、位于隔热笼热场保温层内的坩埚,坩埚长宽尺寸为1000mm~1050mm,高480mm~940mm。本实用新型通过对多晶硅铸锭炉的热场进行改进设计,具体对隔热笼热场保温层、加热器结构进行改进,并降低热交换平台的高度,增大坩埚的放置空间,有效增加坩埚长宽方向的尺寸及高度,从而使坩埚的容积量增大,大大提高了多晶硅铸锭炉的单位产能,提高了效率,且能耗降低,节省了成本。
搜索关键词: 容量 多晶 铸锭 炉热场 结构
【主权项】:
一种大容量多晶硅铸锭炉热场结构,包括炉体、设置在所述炉体内的隔热笼热场保温层、位于所述隔热笼热场保温层内的坩埚,其特征在于,所述坩埚长宽尺寸为1000mm~1050mm,高480mm~940mm;所述炉体的底部铺设有1‑3层溢流棉,所述溢流棉上铺设有1‑5层软毡,所述软毡之上还铺设有1‑5层溢流棉;当所述软毡为2‑5层时,所述2‑5层软毡十字交叉放置。
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