[实用新型]用于硅片加工设备的晶托搬运装置有效
| 申请号： | 201220361975.3 | 申请日： | 2012-07-24 |
| 公开（公告）号： | CN202805444U | 公开（公告）日： | 2013-03-20 |
| 发明（设计）人： | 苏兰虎;杨风桐 | 申请（专利权）人： | 天津英利新能源有限公司 |
| 主分类号： | B28D5/00 | 分类号： | B28D5/00 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 魏晓波 |
| 地址： | 301510 天津市滨海新区津汉公*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种用于硅片加工设备的晶托搬运装置，包括至少两组卡具装置，所述卡具装置包括两个相互枢接的卡杆，所述卡杆的一端为把手，另一端为卡头，所述把手的转动带动两个所述卡头从所述晶托的两侧卡在所述晶托的通孔中。对待搬运的晶托进行搬运作业时，将所述卡具装置的卡头从所述晶托的两侧插入所述晶托的通孔中，且所述卡具装置至少设置在所述晶托的两端，所述晶托在搬运过程中受力较为均匀，不会发生大幅度的晃动或滑落的现象，也不会对操作人员和所述晶托造成伤害，经过一次搬运即可完成晶托的搬运作业，显著提高了搬运过程中的安全性以及搬运的效率。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 硅片 加工 设备 搬运 装置 | ||
【主权项】：
一种用于硅片加工设备的晶托搬运装置，其特征在于，包括至少两组卡具装置，所述卡具装置包括两个相互枢接的卡杆，所述卡杆的一端为把手，另一端为卡头，所述把手的转动带动两个所述卡头从所述晶托的两侧卡在所述晶托的通孔中。
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