[实用新型]一种具有水膜铺开功能的湿法刻蚀机有效
| 申请号： | 201220362057.2 | 申请日： | 2012-07-25 |
| 公开（公告）号： | CN202830170U | 公开（公告）日： | 2013-03-27 |
| 发明（设计）人： | 王虎;靳建光;蔡钟明;邱小永 | 申请（专利权）人： | 浙江贝盛光伏股份有限公司 |
| 主分类号： | C23F1/08 | 分类号： | C23F1/08 |
| 代理公司： | 湖州金卫知识产权代理事务所(普通合伙) 33232 | 代理人： | 裴金华 |
| 地址： | 313000 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型属于太阳能电池生产制造领域，具体涉及一种可将水膜完全铺开覆盖在“N”型硅片表面的湿法刻蚀机，包括刻蚀机台和位于刻蚀机台上方的喷水装置，在刻蚀机台上方喷水装置的一侧设置有用于吹开由喷水装置喷淋到刻蚀机台上传送的硅片上表面的水膜的吹风装置。所述吹风装置位于所述喷水装置硅片传送方向的一侧。所述吹风装置包括相互连接的送气管和出气头，所述出气头上设置有朝向硅片的喷气孔。硅片通过刻蚀机台传送过程中，喷水装置将水膜喷到硅片表面，再经吹风装置吹出的气流准确的加速水膜的扩散，确保水膜完全覆盖硅片表面。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 具有 铺开 功能 湿法 刻蚀 | ||
【主权项】：
一种具有水膜铺开功能的湿法刻蚀机，所述湿法刻蚀机包括刻蚀机台（1）和位于刻蚀机台（1）上方的喷水装置（2），其特征在于：在刻蚀机台（1）上方喷水装置（2）的一侧设置有用于吹开由喷水装置（2）喷淋到刻蚀机台（1）上传送的硅片（4）上表面的水膜（5）的吹风装置（3）。
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