[实用新型]Mirau型物镜及使用该物镜的干涉显微镜和测量系统有效
| 申请号： | 201220363110.0 | 申请日： | 2012-07-25 |
| 公开（公告）号： | CN202794687U | 公开（公告）日： | 2013-03-13 |
| 发明（设计）人： | 陶纯堪 | 申请（专利权）人： | 陶纯堪 |
| 主分类号： | G02B21/00 | 分类号： | G02B21/00;G01B9/04;G01B11/24;G01B11/30 |
| 代理公司： | 南京天翼专利代理有限责任公司 32112 | 代理人： | 朱戈胜 |
| 地址： | 210094 江苏省南京市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 一种Mirau型物镜，包括显微镜头、第一干涉板和第二干涉板；第一干涉板和第二干涉板平行放置在显微镜头的下方，且与显微镜头的光轴垂直；第一干涉板在显微镜头和第二干涉板之间；第一干涉板上表面中心设有反射圆斑；第二干涉板的上表面镀有分光膜，该分光膜的反射率是10%～30%。一种使用所述Mirau型物镜的Mirau干涉显微镜，包括光源、聚光镜、视场光阑、单色滤光片、第一分光镜、第二分光镜、工作台和所述Mirau型物镜。一种使用所述的Mirau干涉显微镜的测量系统，包括Mirau干涉显微镜、计算机和摄像机。本实用新型的光路不失调能长期稳定工作，并且实现数字化自动控制的Mirau（米洛）干涉显微镜，而且实现了10×、20×以至50×等一系列放大倍率的Mirau型物镜加工和装配工艺技术。 | ||
| 搜索关键词： | mirau 物镜 使用 干涉显微镜 测量 系统 | ||
【主权项】：
一种Mirau型物镜，其特征是包括显微镜头、第一干涉板和第二干涉板；第一干涉板和第二干涉板平行放置在显微镜头的下方，且与显微镜头的光轴垂直；第一干涉板在显微镜头和第二干涉板之间；第一干涉板上表面中心设有反射圆斑；第二干涉板的上表面镀有分光膜，该分光膜的反射率是10%～30%。
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