[实用新型]基板厚度测量设备

摘要

本实用新型涉及一种基板厚度测量设备，包括：机架；料盒：包括放置待测物料的第一料盒、放置合格物料的第二料盒以及放置不合格物料的第三料盒；取料机构：包括设置在机架上的移动平台、设置在移动平台上的真空吸取夹具，真空吸取夹具具有多个真空吸盘；检测台：包括设置在机架上的真空平台、设置在真空平台上部的测试探头，真空平台能够吸附住放置在其上部的物料，测试探头设置有5个；数据采集、储存及控制系统：与取料机构、检测台相连接。本实用新型通过自动化测量设备替代人工检测，采用5个点同时进行检测，较为准确的测量基本的精度；采用真空吸附，能有效防止基板变形而导致测量数据的不准确；系统自动采集储存数据，便于进行观察和统计。

主权项

一种基板厚度测量设备，其特征在于：包括：机架；料盒：所述的料盒设置在所述的机架上，包括放置待测物料的第一料盒、放置合格物料的第二料盒以及放置不合格物料的第三料盒；取料机构：所述的取料机构包括设置在所述的机架上的移动平台、设置在所述的移动平台上的真空吸取夹具，所述的真空吸取夹具具有多个真空吸盘；检测台：所述的检测台包括设置在所述的机架上的真空平台、设置在所述的真空平台上部的测试探头，所述的真空平台能够吸附住放置在其上部的物料，所述的测试探头设置有5个；数据采集、储存及控制系统：所述的数据采集、储存及控制系统与所述的取料机构、检测台相连接。