[实用新型]一种制备低碳低氧硅锭的坩埚炉有效
申请号: | 201220379484.1 | 申请日: | 2012-08-02 |
公开(公告)号: | CN202671715U | 公开(公告)日: | 2013-01-16 |
发明(设计)人: | 罗大伟;王临水;路忠林;林洪峰;张凤鸣 | 申请(专利权)人: | 天威新能源控股有限公司;保定天威集团有限公司 |
主分类号: | C30B28/06 | 分类号: | C30B28/06;C30B29/06 |
代理公司: | 成都行之专利代理事务所(普通合伙) 51220 | 代理人: | 谭新民 |
地址: | 610000 四川省成都市成*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | 本实用新型公布了一种制备低碳低氧硅锭的坩埚炉,包括炉体,在炉体内安装有隔热笼,隔热笼内安装有定向凝固底座,在定向凝固底座上安装有石英坩埚,在石英坩埚的四周安装有石墨护板,在石墨护板上方安装有坩埚盖板,还包括穿过炉体、隔热笼、以及坩埚盖板的石墨气体套管,在石墨气体套管上安装有位于坩埚盖板上方的石墨加热器,在所述坩埚盖板底部安装有楔形导气装置。本实用新型通过在坩埚盖板下方安装楔形导气装置,消除了涡流的通路,可以为惰性气体提供畅通的通道,能够有效地将铸造过程中产生的一氧化碳、二氧化碳以及一氧化硅等气体迅速地带走,可以有效地降低多晶硅铸锭中的非金属杂质碳和氧的含量,提高了产品的质量。 | ||
搜索关键词: | 一种 制备 低氧 坩埚 | ||
【主权项】:
一种制备低碳低氧硅锭的坩埚炉,包括炉体(1),在炉体(1)内安装有隔热笼(2),隔热笼(2)内安装有定向凝固底座(11),在定向凝固底座(11)上安装有石英坩埚(9),在石英坩埚(9)的四周安装有石墨护板(8),在石墨护板(8)上方安装有坩埚盖板(7),还包括穿过炉体(1)、隔热笼(2)、以及坩埚盖板(7)的石墨气体套管(5),在石墨气体套管(5)上安装有位于坩埚盖板(7)上方的石墨加热器(6),其特征在于:在所述坩埚盖板(7)底部安装有楔形导气装置(14)。
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