[实用新型]镀膜夹具磁框有效
| 申请号： | 201220380910.3 | 申请日： | 2012-08-03 |
| 公开（公告）号： | CN202755056U | 公开（公告）日： | 2013-02-27 |
| 发明（设计）人： | 李坡;卞玉;李冬强;高志祥 | 申请（专利权）人： | 南京中电熊猫晶体科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50;C23C14/35;C23C14/34 |
| 代理公司： | 南京君陶专利商标代理有限公司 32215 | 代理人： | 沈根水;陈勤 |
| 地址： | 210028 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本实用新型涉及的是一镀膜夹具磁框，其特征是镀膜夹具磁框的四周是磁框边筋1，镀膜夹具磁框内设五条磁框内筋2，所述的磁框边筋1和磁框内筋2上设有若干个小方格，该小方格内放置磁铁。优点：增加了磁铁的密度，将磁铁按照规律排布，使之不对溅射镀膜机内部的磁场分布产生影响。增强了磁框吸附夹具的能力。可在较高温度的镀膜仓内以及传送过程中的震动，使夹具夹紧水晶片，水晶片不产生跑片现象。同时由于未增加磁铁的磁性，磁铁的分布也比传统磁框的磁铁分布更加均匀，磁场的均匀分布未改变溅射银粒子的运动轨迹，保证了镀膜频率的均匀一致性。 | ||
| 搜索关键词： | 镀膜 夹具 | ||
【主权项】：
镀膜夹具磁框，其特征是镀膜夹具磁框的四周是磁框边筋，镀膜夹具磁框内设五条磁框内筋，所述的磁框边筋和磁框内筋上设有若干个小方格，该小方格内放置磁铁。
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