[实用新型]一种高温超导薄膜连续双面涂敷装置有效
申请号: | 201220383227.5 | 申请日: | 2012-08-04 |
公开(公告)号: | CN202700729U | 公开(公告)日: | 2013-01-30 |
发明(设计)人: | 蔡传兵;刘志勇;白传易;鲁玉明 | 申请(专利权)人: | 上海上创超导科技有限公司 |
主分类号: | B05C3/132 | 分类号: | B05C3/132;B05C11/10 |
代理公司: | 上海浦东良风专利代理有限责任公司 31113 | 代理人: | 张劲风 |
地址: | 201807 上海*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本实用新型涉及到一种连续涂膜装置,具体说是一种高温超导薄膜连续双面涂敷装置。主要解决超导薄膜涂膜过程中双面涂敷、连续化和均匀性等技术难题。技术方案为:一种高温超导连续薄膜双面涂敷装置,其特征是设置三个腔室,中间的主腔室和两侧的辅助腔室,腔室之间以及腔室与外界之间通过孔或缝连结,基带直线通过装置,辅助腔室通过管路连接蠕动泵进口,蠕动泵出口通过管路通入主腔室,形成循环回路。本实用新型主要用于基带的双面涂敷超导薄膜。 | ||
搜索关键词: | 一种 高温 超导 薄膜 连续 双面 装置 | ||
【主权项】:
一种高温超导薄膜连续双面涂敷装置,其特征是设置三个腔室,中间的主腔室和两侧的辅助腔室,腔室之间以及腔室与外界之间通过孔或缝连结,基带直线通过装置,辅助腔室通过管路连接蠕动泵进口,蠕动泵出口通过管路通入主腔室,形成循环回路。
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