[实用新型]一种磁控溅射镀膜线上的驱动装置有效
申请号: | 201220392075.5 | 申请日: | 2012-08-09 |
公开(公告)号: | CN202755052U | 公开(公告)日: | 2013-02-27 |
发明(设计)人: | 郭博;郭亚霓 | 申请(专利权)人: | 江阴沐祥节能装饰工程有限公司 |
主分类号: | C23C14/35 | 分类号: | C23C14/35 |
代理公司: | 江阴市永兴专利事务所(普通合伙) 32240 | 代理人: | 达晓玲;施光亚 |
地址: | 214400 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种磁控溅射镀膜线上的驱动装置,包括平台(1)和转动轴(2),转动轴(2)设置在平台(1)上,转动轴(2)上设有第一链轮(3),平台(1)的侧面设有驱动转动轴(2)转动的电机(4),电机(4)通过底座(5)固定在平台1上,电机(4)的转动轴上设有第二链轮(6),第一链轮(3)和第二链轮(6)之间通过链条(7)连接。本实用新型的一种磁控溅射镀膜线上的驱动装置,不会造成启动电流大,而且不易损坏。 | ||
搜索关键词: | 一种 磁控溅射 镀膜 线上 驱动 装置 | ||
【主权项】:
一种磁控溅射镀膜线上的驱动装置,包括平台(1)和转动轴(2),转动轴(2)设置在平台(1)上,其特征是,转动轴(2)上设有第一链轮(3),平台(1)的侧面设有驱动转动轴(2)转动的电机(4),电机(4)通过底座(5)固定在平台(1)上,电机(4)的转动轴上设有第二链轮(6),第一链轮(3)和第二链轮(6)之间通过链条(7)连接。
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