[实用新型]蚀刻废液处理设备

摘要

一种蚀刻废液处理设备，其包括：碱性蚀刻废液输送装置；三级萃取槽，与所述碱性蚀刻废液输送装置连接；酸性蚀刻废液输送装置；中和反应釜，与所述三级萃取槽、所述酸性蚀刻废液输送装置连接；过滤机，与所述中和反应釜连接，用于过滤发生中和反应后的溶液，以获得铜泥和清液；氨水输送装置；盐酸输送装置；调整槽，与所述过滤机、所述氨水输送装置、所述盐酸输送装置连接；搅拌反应釜，与所述过滤机、所述三级萃取槽连接；硫酸输送装置；反萃槽，与所述三级萃取槽、所述硫酸输送装置连接；电解槽，与所述反萃槽连接。本实用新型可以同时解决碱性和酸性蚀刻废液的污染问题，将蚀刻废液进行资源化处理，废水零排放。

主权项

一种蚀刻废液处理设备，其特征在于，包括：碱性蚀刻废液输送装置，用于输送蚀刻工序中产生的碱性蚀刻废液；三级萃取槽，与所述碱性蚀刻废液输送装置连接，用于接收、萃取碱性蚀刻废液，并产生萃余液和富有机相；酸性蚀刻废液输送装置，用于输送蚀刻工序中产生的酸性蚀刻废液；中和反应釜，与所述三级萃取槽、所述酸性蚀刻废液输送装置连接，以使萃余液、酸性蚀刻废液发生中和反应；过滤机，与所述中和反应釜连接，用于过滤发生中和反应后的溶液，以获得铜泥和清液；氨水输送装置，用于输送氨水；盐酸输送装置，用于输送盐酸；调整槽，与所述过滤机、所述氨水输送装置、所述盐酸输送装置连接，用于使氨水加入清液获得碱性蚀刻子液或者使盐酸加入清液获得酸性蚀刻子液，并将碱性蚀刻子液、酸性蚀刻子液输入蚀刻机以循环利用；搅拌反应釜，与所述过滤机、所述三级萃取槽连接，用于获取、搅拌铜泥和萃余液以得到高浓度碱性铜液，并将高浓度碱性铜液输送至所述三级萃取槽中；硫酸输送装置，用于输送硫酸；反萃槽，与所述三级萃取槽、所述硫酸输送装置连接，用于获取富有机相和硫酸，反萃后获得贫有机相和硫酸铜溶液，并将贫有机相输送至所述三级萃取槽；电解槽，与所述反萃槽连接，用于获取、电解硫酸铜溶液，并得到电解铜。