[实用新型]硅片表面吹干装置有效
| 申请号： | 201220393361.3 | 申请日： | 2012-08-08 |
| 公开（公告）号： | CN202853306U | 公开（公告）日： | 2013-04-03 |
| 发明（设计）人： | 何智锋;柴晓燕 | 申请（专利权）人： | 浙江丰球光伏科技股份有限公司 |
| 主分类号： | F26B21/00 | 分类号： | F26B21/00;H01L31/18 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 311800 *** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种吹干效果好、操作方便的硅片表面吹干装置。它包括带有吹风孔的风刀，所述风刀上连接有驱动机构，所述驱动机构可使风刀左右移动。本实用新型适用于硅片表面的吹干。 | ||
| 搜索关键词： | 硅片 表面 吹干 装置 | ||
【主权项】：
一种硅片表面吹干装置，包括带有吹风孔的风刀，其特征在于所述风刀上连接有驱动机构，所述驱动机构可使风刀左右移动。
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