[实用新型]一种多晶硅精馏系统尾气回收装置有效
| 申请号： | 201220395277.5 | 申请日： | 2012-08-10 |
| 公开（公告）号： | CN202729813U | 公开（公告）日： | 2013-02-13 |
| 发明（设计）人： | 王喜良 | 申请（专利权）人： | 四川瑞能硅材料有限公司 |
| 主分类号： | C01B33/107 | 分类号： | C01B33/107 |
| 代理公司： | 成都九鼎天元知识产权代理有限公司 51214 | 代理人： | 钱成岑;詹永斌 |
| 地址： | 620041 四川*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种多晶硅精馏系统尾气回收装置，属于多晶硅生产技术领域；所述多晶硅精馏系统尾气回收装置主要包括冷凝器组、储罐组和精馏塔，所述冷凝器组的进口与精馏系统各个尾气排放管道连接，冷凝器组的出口与储罐组连接，所述储罐组的出口与精馏塔进料口连接；本实用新型的多晶硅精馏系统尾气回收装置能够有效的回收并分离提纯多晶硅精馏系统尾气中的三氯氢硅，提高原料利用率，有效的节约生产成本，减少环境污染。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 多晶 精馏 系统 尾气 回收 装置 | ||
【主权项】：
一种多晶硅精馏系统尾气回收装置，其特征在于：主要包括冷凝器组、储罐组和精馏塔（10）；所述冷凝器组的进口与精馏系统各个尾气排放管道连接，冷凝器组的出口与储罐组连接，所述储罐组的出口与精馏塔（10）的进料口连接，所述储罐组与精馏塔（10）的连接管道上还设置有泵（9）。
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